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高溫真空管式爐、CVD系統(tǒng)管式爐(TF1700-GZK)

科晶真空科技(蘇州)有限公司
聯(lián)系人 翟瑞濤
地區(qū) 江蘇省 蘇州
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產(chǎn)品參數(shù)
詳細(xì)信息

設(shè)備簡介

本設(shè)備是專為高等院校﹑科研院所的實驗室及工礦企業(yè)在可控多種氣氛及真空狀態(tài)下對金屬,非金屬及其它化合物進行真空燒結(jié)、氣氛保護燒結(jié)、真空鍍膜、氣氛還原燒結(jié)、CVD實驗、真空退火﹑熔化﹑物質(zhì)成分測量分析而研制的專用理想設(shè)備。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、稀土制備、電子照明、晶體退火、生物陶瓷、電子陶瓷、特種合金、磁性材料、精密鑄造、金屬熱處理等行業(yè)領(lǐng)域。

 

設(shè)備技術(shù)參數(shù):

設(shè)備型號:TF1700-60/80

爐膛尺寸: 300mm*60/80

極限溫度:1700  

工作溫度: 1600  

工作正壓:0.05Mpa

工作真空:機械泵10^-2 torr 

控溫精度:±1   

爐內(nèi)溫均: ±2

升溫速率:Max:20/Min

控制模式: 智能PID調(diào)節(jié)

工作電壓:220V

設(shè)備功率: 4KW

 

產(chǎn)品優(yōu)勢:

1.可采用KF快速法蘭密封,只需要一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;

2.爐蓋可打開,可以實時觀察加熱的物料,并能迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗需要;

3.預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我廠真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

4.可選配485轉(zhuǎn)換接口,實現(xiàn)與計算機相互連接。選配專用的電腦控制系統(tǒng)來完成與單臺或多達200臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。 

5.可內(nèi)置熱電偶,實時監(jiān)測加熱物料溫度。 

6智能PID高精度控制,自整定功能,30段可編程控制,可設(shè)置30段升降溫程序,實現(xiàn)了功率無損耗。

7控溫精密,具備多種溫控器可供選擇,進入保持狀態(tài)后,溫度波動?。販鼐?plusmn;1℃溫度均勻±2℃)。 

標(biāo)準(zhǔn)配件

坩堝鉗1把、剛玉舟1只、爐鉤1把、管堵2只、剛玉管1根、304法蘭1套、密封圈4只、浮子流量計1只、耐高溫手套1雙、產(chǎn)品說明書1份、儀表說明書1份、保修證書1份。

 可選配件

1、浮子或質(zhì)子流量供氣系統(tǒng)。

2、真空系統(tǒng)

3、300W500W等離子射頻電源。

4、可選配移動爐架,將管式爐放置在爐架上。

 

 

注意事項

1、為了不影響設(shè)備正常使用壽命,請不要過快升降溫(如需快速升溫請?zhí)崆案嬷?,可提升加熱系統(tǒng))

2、請不要往管內(nèi)通入超過0.02MPa的氣體壓力。

3、本設(shè)備使用一段時間后,爐膛會出現(xiàn)微小裂紋,屬于正?,F(xiàn)象,不會影響使用,可向業(yè)務(wù)人員免費索取氧化鋁涂層修補劑。

4、由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。

5、進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

6、對于只對樣品加熱的實驗(不抽真空不通氣體),不建議使用時關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,您必須時刻關(guān)注壓力表的指數(shù)(氣壓會隨溫度升降而變化),若壓力表指數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

 

非標(biāo)定制:

我廠可根據(jù)客戶要求定制非標(biāo)爐型,來滿足客戶實驗工藝,如您對實驗工藝不是很了解,也可寄樣品到我廠,本廠建立了先進的客戶實驗中心,配備各個行業(yè)所需爐型,可供您實驗與測試,以便您購買到更適合的產(chǎn)品。

 

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