U-III的發(fā)布標(biāo)志著表面污染監(jiān)測技術(shù)邁向納米級精度時代。行業(yè)分析師指出，該設(shè)備通過量化顆粒數(shù)據(jù)與智能反饋機制，將推動半導(dǎo)體制造從“經(jīng)驗驅(qū)動”向“數(shù)據(jù)驅(qū)動”轉(zhuǎn)型，進一步降低因微粒污染導(dǎo)致的良率損失，目前，U-III系列已獲得多家國際頭部晶圓廠的采購意向。關(guān)鍵性能指標(biāo)
分辨率達0.1微米，支持納米級顆粒檢測；
配備靜態(tài)采樣模式，提升測量精度和穩(wěn)定性；符合ISO-14644-9表面粒子控制標(biāo)準(zhǔn)，滿足半導(dǎo)體制造中對潔凈度的嚴(yán)苛要求。
行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢
減少50%以上的自凈時間及顆粒數(shù)，縮短PM周期，提升制造效率；
通過實時監(jiān)測表面污染，降低因顆粒導(dǎo)致的良率損失和可靠性風(fēng)險；
適用于晶圓、光學(xué)元件、精密電路板等對潔凈度敏感的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。
系統(tǒng)集成設(shè)計
支持USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出和軟件升級，便于與工廠智能管理系統(tǒng)對接；
采用雙電池?zé)岵灏卧O(shè)計，適應(yīng)連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境的需求。
該系列設(shè)備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造中的過程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。
傳感器：第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次
服務(wù)項目
